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零件經真空熱處理后﹐畸變小﹐質量高﹐且工藝本身操作靈活﹐無公害。因此真空熱處理不僅是某些特殊合金熱處理的必要手段﹐而且在一般工程用鋼的熱處理中也獲得應用﹐特別是工具﹑模具和精密耦件等﹐經真空熱處理后使用壽命較一般熱處理有較大的提高。例如某些模具經真空熱處理后﹐其壽命比原來鹽浴處理的高40～400％﹐而有許多工具的壽命可提高3～4倍左右。此外﹐真空加熱爐可在較高溫度下工作﹐且工件可以保持潔凈的表面﹐因而能加速化學熱處理的吸附和反應過程。因此﹐某些化學熱處理﹐如滲碳﹑滲氮﹑滲鉻﹑滲硼﹐以及多元共滲都能得到更快﹑更好的效果。